SiC gözenekli seramik vakumlu mandreni için SiC ince tozu
SiC gözenekli seramikler diğer seramiklere göre mükemmel avantajlara sahiptir. Yüksek mukavemet, mükemmel korozyon direnci, yüksek sıcaklık direnci, yüksek ısı iletkenliği, düşük ısıl genleşme katsayısı, iyi ısıl şok direnci gibi. Bu nedenle yarı iletken endüstrisinde yapıştırma, kesme, bant montajı, parlatma vb. için ideal bir vakumlu ayna seramiğidir. SiC ince tozu, SiC gözenekli seramik vakumlu ayna için tam bir hammaddedir .
Siyah silisyum karbür ince tozunun SiC gözenekli seramik vakumlu ayna için avantajları şunlardır:
1. Aşınmaya dayanıklı ve yüksek sıcaklığa dayanıklıdır. Aynanın uzun süreli sürekli çalışmasının ihtiyaçlarını karşılayabilir.
2. Düşük termal genleşme oranı, hacim deformasyonundan kaynaklanan arızaları önler.
3. Güçlü korozyon direnci. Silisyum karbür ince tozu, yüksek sıcaklık koşullarında adsorpsiyon malzemesiyle reaksiyona girmez.
4. Güçlü kimyasal kararlılık, vakum ortamında aşındırıcı gaz veya kısa devre oluşmaz.
5. Silisyum karbür mikro tozunun parçacık boyutu kontrol edilebilir. Ultra ince silisyum karbür seramik vakumlu ayna üretimi için uygundur.
6. Kimyasal temizleme ve su yıkamadan sonra, siyah silisyum karbür ultra ince tozunun içeriği ve içeriği çok düşüktür.
