Yarı iletken ekipmanlar için Siyah SiC tozu 800# – gözenekli silisyum karbür seramik
Yarı iletken üretim ekipmanlarında yüksek performanslı seramik bileşenler esastır. Özellikle silisyum karbür seramikler, aşındırma makineleri, litografi makineleri, iyon implantasyon makineleri vb. gibi önemli ekipmanlarda önemli bileşenlerdir. Örneğin, taşlama ve parlatma vantuzları, fotolitografi vantuzları, muayene vantuzları, dağlama işlemleri ve hareket platformlarının tümü, aşağıdaki özelliklere sahiptir: silisyum karbür seramiklerin varlığı. Bu silisyum karbür seramik bileşenler iyi yapısal stabiliteye, termal stabiliteye, aşınma direncine, korozyon direncine ve yüksek boyutsal doğruluğa sahiptir. Silisyum karbür seramik üretiminin ana hammaddesi olan silisyum karbür tozunun da iyi ve kararlı özelliklere sahip olması gerekir. Bunlar arasında gözenekli silisyum karbür seramik vantuzlara yönelik siyah SiC tozu 800# tipik bir uygulamadır.
SiC tozunun rafine üretimi ile fiziksel ve kimyasal özelliklerde ve parçacık boyutu stabilitesinde önemli ilerleme kaydedilmiştir. Tarama, asit alkali yıkama ve suyla yıkamadan rafine edilen ince siyah SiC tozu, yarı iletkenler gibi yüksek teknolojili alanların gereksinimleri için daha uygundur. Spesifik özellikler aşağıdaki gibidir:
1. Yüksek sıcaklık stabilitesi.
Siyah SiC tozunun çok yüksek bir erime noktası ve termal stabilitesi vardır, bu da gözenekli seramiklerin yüksek sıcaklıktaki ortamlarda iyi performansı korumasına olanak tanır.
2. Yüksek saflıkta.
Kimyasal işlemden ve suyla yıkamadan sonra, siyah silisyum karbür tozu düşük manyetik içeriğe, düşük serbest karbon içeriğine, iyi akışkanlığa ve kolay dağılıma sahiptir.
3. Yüksek parçacık boyutu konsantrasyonu.
Parçacık boyutunda yüksek tutarlılık, dar toz parçacıkları aralığı ve yüksek paketleme yoğunluğu. Silisyum karbür seramiklerin yoğunluğunu artırabilir.
4. Mükemmel mekanik özellikler.
Siyah SiC yüksek sertliğe, dayanıklılığa ve mükemmel sıkıştırma direncine sahiptir. Gözenekli seramiklerin mekanik mukavemetini ve aşınma direncini artırabilir.
5. Güçlü kimyasal stabilite.
Siyah silisyum karbür asitlere, bazlara ve çoğu kimyasal maddeye karşı iyi bir korozyon direncine sahiptir. Bu, gözenekli seramiklerin kimyasal stabilitesini ve korozyon direncini artırabilir.
6. İyi ısı iletkenliği.
Siyah silisyum karbürün yüksek termal iletkenliği nedeniyle gözenekli seramikler ısıyı daha etkili bir şekilde aktarabilir ve dağıtabilir.
7. Düşük termal genleşme katsayısı.
Siyah silisyum karbür daha düşük bir termal genleşme katsayısına sahiptir. Sıcaklık değişimleri altında gözenekli seramiklerin termal stresini ve hasarını azaltmaya yardımcı olur.
8. Geliştirilmiş oksidasyon direnci.
Siyah SiC, gözenekli seramiklerin oksidasyon direncini artırabilir ve hizmet ömrünü uzatabilir.
Özetle, siyah silisyum karbürün gözenekli seramikler için katkı maddesi veya temel malzeme olarak kullanılması, onun yüksek sıcaklık stabilitesini, mekanik özelliklerini, kimyasal stabilitesini ve diğer çeşitli özelliklerini önemli ölçüde geliştirebilir. Bu avantajlar, özellikle yarı iletken ekipman endüstrisinde, yüksek sıcaklık, yüksek basınç ve son derece aşındırıcı ortamlarda daha yaygın olarak uygulanabilir olmasını sağlar.
