Solar polikristal ve monokristal silikon gofret tel kesme pazarının düşüşüyle birlikte, yerel yeşil silisyum karbür toz kesme pazarı aşırı derecede küçülüyor. Ancak yarı iletken tel kesme alanında, özellikle tek kristal silikonun iç daire kesimi, çünkü silisyum karbür kesme hattının sıvı kesimi, kesilecek gofret yüzeyinin pürüzsüzlüğünü elmas kesme hattının katı kesiminden daha iyi koruyabilir, yani yeşil silisyum karbür tozu http://greensiliconcarbide.com Yarı iletken endüstrisinde her zaman bir yeriniz olsun. Yarı iletken tel kesim silisyum karbür tozunun malzeme performansı için geleneksel aşındırıcılardan çok farklı gereksinimleri olduğundan, kalite açısından da daha yüksek gereksinimler ortaya konmaktadır.
- Yeşil silisyum karbür parçacık boyutu standardı
Yarı iletken tel kesimi için silisyum karbür tozunun yerli üretimi geç başladığından, yerli yarı iletken üreticileri başlangıçta Almanya’daki ESK ve Japonya’daki FUJIMI gibi gelişmiş ülkelerdeki tanınmış üreticilerden ürünler ithal etti. Bu nedenle, bazı yerli silisyum karbür tozu üreticileri çoğunlukla Avrupa standartlarını (FEPA), Japon standartlarını (JlS) ve Amerikan standartlarını (ANSI) benimser.
Bununla birlikte, yerli yarı iletken tel kesilmiş silisyum karbür tozunun çoğu Japonya’ya ihraç edildiğinden, Japon standardı ülkede yaygın olarak kabul edilmektedir. Yurt içi ve yurt dışı standartlar arasındaki en büyük fark, yurt dışında benimsenen parçacık boyutu indeksinin D0’ı (maksimum parçacık boyutu) artırırken, yurt içi standartta artmamasıdır. Bu aşamada, yerel standart hala genel olarak sıradan aşındırıcılar ve aşındırıcılar standardında kalmaktadır.
Yarı iletken endüstrisi, tel kesmenin doğruluk gereksinimlerini karşılamak için yeşil silisyum karbür tozunun parçacık boyutu dağılımının mümkün olduğunca yoğunlaştırılmasını gerektirir.
- Yeşil silisyum karbürün kimyasal bileşimi
Kimyasal bileşimin, silisyum karbür tozunun kristal formu ve kullanım etkisi üzerinde etkisi vardır. Kimyasal bileşim ne kadar yüksek olursa, genel performans o kadar iyi olur.
- Yeşil silisyum karbürün parçacık şekli
Yarı iletkenler için tel kesme mikro toz olarak, parçacık şekli, numune işleme etkisi üzerinde önemli bir etkiye sahip olacaktır. Genel olarak, öğütme işleminde kullanılan öğütme mekanizmasından farklı olarak, yarı iletken tel kesimi için kullanılan silisyum karbür tozunun belirli bir yuvarlaklık değerine sahip olması ve parçacıkların keskin kenar ve köşelere sahip olması gerekmektedir.
- Yeşil silisyum karbürün yığın yoğunluğu
Yığın yoğunluğu, silisyum karbür tozunun bir başka önemli göstergesidir. Carborundum mikro tozunun partikül boyutu mikron seviyesinde olduğunda, yüzey alanı, yüzey enerjisi ve yüzey bağlama enerjisi hızla artar. Mikro tozun yığın yoğunluğunu etkileyen ana faktörler, spesifik yüzey alanı, yüzey enerjisi, yüzey bağlama enerjisi ve partiküller arasındaki etkileşim kuvvetidir.
- Yeşil silisyum karbürün temizliği
Çip, yüzeyin temizliğine yüksek gereksinim duyduğundan, çipin yüzeyi yabancı maddelerle kirlenirse ürün hurdaya çıkabilir. Talaşı keserken veya parlatırken, safsızlıkları getirmek kolaydır, bu nedenle yarı iletken tel kesme tozunun yüzey temizliği nispeten yüksektir. Yeşil silisyum karbür tozu, eritme işlemi sırasında karbonun bir kısmını üretecektir. Sonraki eleme işleminde, ham silisyum karbür dekapaj işlemine tabi tutulsa da, daha fazla öğütmeden sonra silisyum karbür bloğunda hala serbest karbonun bir kısmı vardır. Yeşil silisyum karbür tozunun üretim süreci, dokudaki artık serbest karbondan kaçınarak öğütmeden sonra dekapaj yapmaktır ve saflık daha yüksektir (% 99’dan fazla SiC’ye ulaşabilir)
- Yeşil silisyum karbür tozunun asit ve alkali kalıntı içeriği
Mikronize tozun genel üretim süreci dekapaj işlemidir. Tüm süreç boyunca, suyla yıkama yeterince kapsamlı değilse, mikro toz parçacıklarının yüzeyinde asit kalıntıları ve safsızlıklar kalacaktır. Bu kalıntılar, mikro toz aşamasında belirgin olmayabilir, ancak bir ürün haline getirilirse, ürünü etkileyecek performans farklılıkları gösterecektir. kalite.