AlN seramik yüzeyinin parlatılması için yeşil SiC tozunun özellikleri
AlN (Alüminyum Nitrür) seramik PCB altlığı, yüksek güçlü, yüksek frekanslı elektronik cihazlar için baskılı devre kartı (PCB) oluşturmak üzere, çekirdek yalıtım ve ısı dağıtıcı taban olarak alüminyum nitrür seramiği kullanan ve metal iletken katmanlarla (genellikle bakır) birleştirilen yüksek performanslı bir elektronik altlık malzemesidir. AlN seramik yüzeyini parlatmak için kullanılan yeşil SiC tozu, mükemmel bir yüzey tokluğu sağlayabilir. Başka hiçbir ticari aşındırıcının sağlayamayacağı dört avantajı aynı anda karşıladığı için tercih edilmiştir:
1. Yeterince sert/yeterince yumuşak aralık
Knoop 2 600–2 800 kg mm-2 (AlN’den yaklaşık %30 daha sert, 12 000 MPa), nitrürü hızla öğütebilir. Yine de elmasın sertliğinden daha az olduğu için, AlN’nin 170–200 W m-1 K termal iletkenliğini öldürecek derin yüzey altı çatlakları oluşturmaz.
2. Keskin, α-SiC plakacıkları:
Bloklu, keskin parçacıklar, toprağı sürmek yerine mikro yongalama etkisi yaratır; eşit basınçta ve verimli öğütme ile malzeme kaldırma oranı beyaz Al2O3’e göre birkaç kat daha fazladır.
3. Kendiliğinden sınırlayıcı kimyasal kenar
Sulu bulamaçta oluşan ince doğal SiO2 tabakası (≈ 3 nm) hafif asidiktir (pH 4–5). AlN üzerindeki Al2O3 tribo-filmiyle kompleks oluşturarak, teması yağlayan ve normalde gözeneklilik benzeri çukurlara neden olan AlN tanelerinin “kopmasını” önleyen yumuşak bir Al-O-Si jeli üretir.
- AlN CMP ön parlatma adımı için satın alınan tipik özellikler : Tane
boyutu: GC F360 (D50 26-30 µm) → GC F500 (D50 15-17 µm) → F800 (D50 7-8 µm) → F1000 (D50 4-5 µm)
Hacim yoğunluğu: 1,42 g cm-3 (gevşek)
Özgül yüzey alanı: 0,9 m2 g-1 (BET)
Zeta potansiyeli: pH 9’da –45 mV (kararlı %30 ağırlıkça bulamaç)
Kristal tipi: 6H α-SiC ≥ %98
